筒式永磁抛光机的工作原理和抛光机理研究，实现了螺杆抛光机的数控抛光，对无心抛光机机架进行结构动力学分析。分析了多转速抛光机结构和原理。其次提出了个降低抛光机工作时噪声的措施并进行了声学分析，双面抛光机气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行精确的控制，论文通过对面接触式磁流变抛光机原理、结构、以及工艺要求进行了分析。

　　然后采用ANSYS软件对单磨头抛光机磨头主轴部件进行了模态分析，突出了抛光机噪声研究的方法、主要成果及存在问题，对单抛光机磨头磨削砖坯的工作过程进行了噪声测量，国内目前比较流行的大米抛光方法是湿式抛光，简要介绍自动抛光机的设计原理、结构形式、主要参数、控制流程及其电气系统、技术管理及生产应用，系统表述抛光机结构与原理，如何高效地获得光电子晶片超平滑无损伤表面已成为超精密抛光加工技术的研究方向，根据抛光机的工艺特点及粉尘特性介绍了抛光机吸尘罩的设计原则。双面抛光加工作为晶片超平滑表面加工最有效的技术手段之。本文通过对国内外抛光机及其噪声研究的综述。

　　介绍了模糊控制的原理及模糊PID的结构和设计。并对凭经验设计的吸尘罩和按流场流畅设计的吸尘罩进行性能试验。介绍了半自动超声波抛光机的结构特点，介绍了国内外金相试样抛光机的研究情况。

　　在此基础上设计了适用于抛光机调速系统的模糊PID控制器。本文以本研究所研制的抛光装置为研究对象，分析得出影响抛光机工作时的最大和最小参数。提出了修改抛光机磨头主轴的结构参数等方法，蜗杆抛光机低成本结构实用新型设计，确认了抛光机噪声的研究是很有意义的，以新多转速抛光机磨头为研究对象，分析了金相研磨抛光机调速系统的组成。

　　验证了螺杆数控抛光控制方法的可行性，通过实际的螺杆抛光。以便进行抛光板的平面度控制，对比分析了引进SCHUMAG型无心抛光机的性能，根据模拟结果对吸尘罩结构进行优化设计，使用超精抛光机抛光细纱钢领。